Çip ve Yapay Zeka — İleri Seramik Parçalarda Yurt İçi İkame Penceresi

İleri seramik parçalar, yarı iletken ön uç ekipmanlarının temel sarf malzemeleri ve kritik yapısal bileşenleridir.

İleri seramik malzemeler (alümina, alüminyum nitrür, silisyum karbür, silisyum nitrür vb.) yüksek sertlik, yüksek sıcaklığa dayanıklılık, korozyon direnci, yüksek yalıtkanlık ve termal genleşme katsayısı uyumu gibi birleşik özellikleri sayesinde aşındırma, ince film biriktirme, oksidasyon ve difüzyon gibi aşamalarda elektrostatik tutucular, seramik ısıtıcılar, gaz püskürtme kafaları, odaklama halkaları ve seramik hazne astarları biçiminde doğrudan plakayı taşır, reaksiyon ortamını oluşturur ve hassas sıcaklık kontrolü sağlar.