İleri seramik parçalar yarı iletken ön uç ekipmanlarının temel sarf malzemeleridir. Küresel pazar oligopol yapıda olup Japon firmalar yüzde 50'den fazlasını elinde tutuyor. Yurt içi plaka fabrikalarının kapasite artışı, ileri süreçlerin parça tüketimini artırm
İleri seramik parçalar, yarı iletken ön uç ekipmanlarının temel sarf malzemeleri ve kritik yapısal bileşenleridir.
İleri seramik malzemeler (alümina, alüminyum nitrür, silisyum karbür, silisyum nitrür vb.) yüksek sertlik, yüksek sıcaklığa dayanıklılık, korozyon direnci, yüksek yalıtkanlık ve termal genleşme katsayısı uyumunu bir arada sunar. Bu sayede aşındırma, ince film biriktirme, oksidasyon ve difüzyon aşamalarında elektrostatik tutucu, seramik ısıtıcı, gaz püskürtme kafası, odaklama halkası ve seramik hazne astarı olarak kullanılır. Parçalar plakayı doğrudan taşır, reaksiyon ortamını oluşturur ve hassas sıcaklık kontrolü sağlar.