Sektör Notları Çip - Çin EUV ışık kaynağı yapmış olabilir Hefei Lumiverse masaüstü boyutunda 13.5 nm EUV ışık kaynağı geliştirdi. Sistem HHG (yüksek harmonik üretimi) yöntemiyle çalışıyor. Bu teknoloji Tin damlacığına lazer atan ASML LPP yönteminden farklı. Ekipmanın maliyeti By Kadir Ertuğrul / 21 Kas 2025